晶体硅太阳能电池生产工艺设计流程图
发布时间：2022-12-21 14:07:01
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晶体硅太阳能电池生产工艺流程图
电池片工艺流程说明：
(1清洗、制绒：首先用化学碱〔或酸〕腐蚀硅片，以去除硅片外表机械损伤层，并进展硅片外表织构化，形成金字塔构造的绒面从而减少光反射。现在常用的硅片的厚度在180μm左右。去除硅片外表损伤层是太阳能电池制造的第一道常规工序。(2甩干：清洗后的硅片使用离心甩干机进展甩干。
(3扩散、刻蚀：多数厂家都选用P型硅片来制作太阳能电池，一般用POCl3液态源作为扩散源。扩散设备可用横向石英管或链式扩散炉,进展磷扩散形成P-N结。扩散的最高温度可到达850-900℃。这种方法制出的PN结均匀性好，方块电阻的不均匀性小于10％，少子寿命大于10微秒。扩散过程遵从如下反响式：
4POCl3＋3O2〔过量〕→2P2O5＋2Cl2〔气〕2P2O5＋5Si→5SiO2+4P腐蚀磷硅玻璃和等离子刻蚀边缘电流通路，用化学方法除去扩散生成的副产物。SiO2与HF生成可溶于水的SiF62-，从而使硅外表的磷硅玻璃〔掺P2O5的SiO2〕溶解，化学反响为：
SiO2＋6HF→H2〔SiF6〕＋2H2O
(4减反射膜沉积：采用等离子体增强型化学气相沉积(PECVD:PlasmaEnhancedChemicalVaporDeposition技术在电池外表沉积一层氮化硅减反射膜，不仅可以减少光的反射，而且由于在制备SiN*减反射膜过程中有大量的氢原子进入，因此也起到了很好的外
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表钝化和体钝化的效果。这是因为对于具有大量晶界的多晶硅材料而言，晶界的悬挂键被饱和，降低了复合中心的原因。由于外表钝化和体钝化作用明显，就可以降低对制作太阳能电池材料的要求。由于增强了对光的吸收，氢原子对太阳能电池起到很好的外表和体钝化作用，从而提高了电池的短路电流和开路电压。
(5印刷、烧结：为了从电池上获取电流，一般在电池的正、背两面制作电极。正面栅网电极的形式和厚度要求一方面要有高的透过率，另一方面要保证栅网电极有一个尽可能低的接触电阻。反面做成BSF构造，以减小外表电子复合，印刷后要进展高温烧结。(6检测分选：为了保证产品质量的一致性，通常要对每个电池片测试，并按电流和功率大小进展分类，也可根据电池效率进展分级。(7包装入库：将分选好的电池片一局部可以进展包装，入库，准备外卖；其他的准备进入电池组件生产工序待用。
晶体硅太阳能电池组件流程图
电池分选
电池片焊接
电池串焊接 