正在进行安全检测...
发布时间：2023-11-29 15:35:03
第１ ５卷，第９期 ＶＯ１．１ ５，ＮＯ ９ 电子与封装 总第１４９期 ２０１ ５年９月 ＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＳ＆ＰＡＣＫＡＧＩＮＧ ⑧ ⑩④＠ 集成电路ＦＴ制程高压测试方法研究 姚锐，周 淳，张亚军，倪晓丽 （中国电子科技集团公司第５８研究所，江苏无锡２１４０３５） 摘 要：随着经济发展和科学技术的进步，集成电路（Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ）产业保持着持续、快速的 发展。作为集成电路产业链中的一个重要环节，集成电路测试在评价集成电路电性能、质量和可靠 性等方面提供了有力的技术支撑，其中集成电路高压测试是进行电源管理、高压驱动等一系列芯片 耐压单元性能检测的重要环节。主要研究集成电路成品高压测试过程中存在的一些问题以及相应的 解决方案 关键词：集成电路；高压测试；电源管理 中图分类号：ＴＮ４０７ 文献标识码：Ａ 文章编号：１６８１—１０７０（２０１５）０９—００１４—０３ Ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ Ｃｉｒｃｕｉｔ ＦＴ ａｎｄ Ｈｉｇｈ Ｖｏｌｔａｇｅ Ｔｅｓｔ Ｍｅｔｈｏｄ Ｒｅｓｅａｒｃｈ ＹＡＯＲｕｉ，ＺＨＯＵＣｈｕｎ，ＺＨＡＮＧＶａｊｕｎ，ＮＩＸｉａｏｌｉ （Ｃｈｉｎａ Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃｓ Ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ｇｒｏｕｐ Ｃｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ Ｎｏ．５８ Ｒｅｓｅａｒｃｈ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ，Ｗｕｘｉ ２１４０３５，Ｃｈｉｎａ） Ａｂｓｔｒａｃｔ：Ｔｈｅ ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ ｏｆ ｅｃｏｎｏｍｙ ａｎｄ ｔｈｅ ｐｒｏｇｒｅｓｓ ｏｆ ｔｅｃｈｎｏｌｏｇｙ，ｔｈｅ ｉｎｔｅｇｒａｔｅｄ ｃｉｒｃｕｉｔ ｉｎｄｕｓｔｒｙ ｈａｓ ａｃｈｉｅｖｅｄ ｒａｐｉｄ ｄｅｖｅｌｏｐｍｅｎｔ．Ｉｎｔｅｇｒａｔｅ ｃｉｒｃｕｉｔ ｔｅｓｔｉｎｇ ｉｓ ａｎ ｉｍｐｏｒｔａｎｔ ｐａｒｔ ｏｆ ｉｎｔｅｇｒａｔｅ ｃｉｒｃｕｉｔ ｉｎｄｕｓｔｒｙ， Ｉｎｔｅｇｒａｔｅ ｃｉｒｃｕｉｔ ｔｅｓｔ ｉｎ ｔｈｅ ｅｖａｌｕａｔｉｏｎ ｏｆ ｔｈｅ ｐｅｒｆｏｒｍａｎｃｅ ｏｆ ｉｎｔｅｇｒａｔｅ ｃｉｒｃｕｉｔ，ａｎｄ ｐｒｏｖｉｄｅｓ ａ ｔｅｃｈｎｉｃａｌ ｓｕｐｐｏｒｔ ｆｏｒ ａ ｆｅｗ ｐｏｗｅｒ ｑｕａｌｉｔｙ ａｎｄ ｒｅｌｉａｂｉｌｉｙ．Ｍａｉｔｎｌｙ ｆｏｒ ｔｈｅ ｉｎｔｅｇｒａｔｅ ｃｉｒｃｕｉｔ ｏｆ ｈｉｇｈ ｖｏｌｔａｇｅ ｔｅｓｔ ｗａｓ ｃｏｎｄｕｃｔｅｄ ｏｒ ｐｏｗｅｒ ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ，ｈｉｇｈ ｖｏｌｔａｇｅ ｄｒｉｆｖｅｒ ａｎｄ ａ ｓｅｒｉｅｓ ｏｆ ｃｈｉｐ ｖｏｌｔａｇｅ ｗｉｔｈｓｔａｎｄ ｔｅｓｔ ｉｓ ａｎ ｉｍｐｏｒｔａｎｔ ｌｉｎｋ．Ｔｈｅ ｐａｐｅｒ ｍａｉｎｌｙ ｓｔｕｄｉｅｓ ｓｏｍｅ ｐｒｏｂｌｅｍｓ ｏｆ ｉｎｔｅｇｒａｔｅ ｃｉｒｃｕｉｔ ｐｒｏｄｕｃｔ ｈｉｇｈ ｖｏｌｔａｇｅ ｔｅｓｔｉｎｇ ｐｒｏｃｅｓｓ ａｎｄ ｃｏｒｒｅｓｐｏｎｄｉｎｇ ｓｏｌｕｔｉｏｎｓ． Ｋｅｙ ｗｏｒｄｓ：ｉｎｔｅｇｒａｔｅ ｃｉｒｃｕｉｔ；ｈｉｇｈ ｖｏｌｔａｇｅ ｔｅｓｔ；ｐｏｗｅｒ ｍａｎａｇｅｍｅｎｔ ＭＯＳ器件的耐高压测试即耐电压强度测试是检测电 １ 引言 随着经济发展和技术的进步，集成电路产业取 得了飞速的发展。现在城市的每个角落随处可见光彩 源管理电路的一项重要指标。在集成电路ＦＴ制程中 主要通过自动分选机金手指单元实现测试资源对于 被测器件的激励，主要有自动分选机夹测和自动分选 机压测两种实现方式。 夺目的大型户外显示屏，几乎每个家庭都拥有液晶电 视、液晶显示器、电源充电器等，它们正常稳定的 ２ 集成电路测试的目的及其相应流程 ２．１测试的意义 测试是一个实验的过程，在这个过程中运行系 统并分析它的响应结果，以判断该系统是否正常运 工作都依赖于电源管理系统，实现ＡＣ／ＤＣ和ＤＣ／ＤＣ 等的转换。 随着绿色电源的兴起，追求更高的能量转换效 率，越来越多的ＭＯＳ器件应用于电源管理模块。 收稿日期：２０１５．０５．１０ ．１４．
第１５卷第９期 姚锐，周淳，张亚军，等：集成电路ＦＴ制程高压测试方法研究 行。测试的准确性和可靠性对于产品质量非常重要。 集成电路测试主要指对其各种应用的数字集成电路、 模拟集成电路和数模混合信号集成电路的测试，检测 集成电路芯片中由生产制程等可能引入的缺陷。测试 的意义不仅仅在于判断被测试器件是否合格，还可以 提供关于制造过程的有用信息，从而有助于提高成 品率；同时还能反馈设计方案可能存在的薄弱环节， 有助于检测出设计方面的问题。集成电路测试主要有 两个节点：晶圆级测试，简称ＣＰ测试；成品测试， 简称ＦＴ测试（本论文研究的测试节点）。 ２．２集成电路测试流程 集成电路测试的流程如图１所示。 图１集成电路测试流程 ２．３ ＦＴ封装形式 集成电路的封装类型有很多，有ＤＩＰ／ＳＯＰ／ＳＳＯＰ／ ＴＳＯＰ／ＱＦＮ／ＢＧＡ／ 