微型ICP激发源及其应用

发布时间：2020-02-15 01:39:08

微型ICP激发源及其应用

作者：蒲永妮;刘巍伟

作者机构：廊坊师范学院物电学院,河北,廊坊,065000;廊坊师范学院物电学院,河北,廊坊,065000

来源：中国仪器仪表

ISSN：1005-2852

年：2010

卷：000

期：004

页码：54-56

页数：3

正文语种：chi

关键词：微型机电系统;微型电感耦合等离子体激发源;微型Fabry-Perot光谱仪;微型气体分析仪

摘要：介绍一种新的原子发射光谱微型电感耦合等离子体(ICP)激发源,阐述这种激发源的结构、性能及其在光谱仪中的应用,它与平面结构的微型Fabry-Perot光谱仪联用可以作为微型气体分析仪使用.并简要介绍作者研制的在较低的13.56MHz下工作的微型ICP激发源.展望随着MEMS技术的发展,微型光谱仪的应用前景.

微型ICP激发源及其应用

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