柔性、可拉伸、可变形曲面光刻模板与光刻方法和装置

发布时间：2020-11-29 05:04:59

（19）中华人民共和国国家知识产权局

（21）申请号 CN201510037978.X

（22）申请日 2015.01.26

（71）申请人天津大学

地址 300072 天津市南开区卫津路92号

（72）发明人胡小龙;程宇豪;顾超;朱晓田

（74）专利代理机构天津市北洋有限责任专利代理事务所

代理人刘国威

（51）Int.CI

（54）发明名称

柔性、可拉伸、可变形曲面光刻模板与光刻方法和装置

（57）摘要

法律状态

权利要求说明书

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说明书

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